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“哼。你现在是人家的工人了,当然替东家说话。”赵院长有些傲娇的哼哼着,眼睛却在光刻机上怎么也挪不开。
他收敛了一下脾气,好奇的问道:“这就是你们改进的0。5微米工艺光刻机?究竟做了哪些改进?”
“我们改进了”麻友公开了个头。突然停顿了一下,无奈的摇头道:“我和研究所签了保密协议的,具体技术不能说。”
“德行。”赵院长撇了麻友公一眼,看的他浑身不自在。没办法,他这一身本身可以说,多半都是来自赵院长的传授。如今老师问他这点问题,自己却表现的好像什么重大机密似的,难免有些心虚。
赵院长却没有多做计较,只是在光刻机前前后后的打着转,就不信自己的眼力还看不出来有什么不同。
其实虽然麻友公这多少算是叛出师门。但赵院长心底里却并不怎么怨他的。一是光电所这些年来,确实有些对不起麻友公。二一个,心里多少也希望自己的徒弟能有一个好的归宿吧。
从这方面来说,他其实也理解麻友公保密的做法。假使改进技术真的有效,这里面涉及到的可是数以亿计的金钱。泛翰研究院是私人公司。当然不可能让人敞开了看。
就在这时,光刻机前的指示灯突然从红色转换成了绿色,并且发出了一道短促的“哔——”声。
一张直径的晶圆盘片,从光刻机里被机械臂稳稳的送了出来。
“这是!”赵院长哪里会不知道这是怎么回事,光刻机里吐出来的晶圆表面上看并没有什么不同,但他知道这已经是经过了光刻的盘片。
此时这张盘片上面的光刻胶,应该已经被蒸发了一部分。只要再把这张盘片送入蚀刻机。就可以根据光刻的路径蚀刻出集成电路。
在场的所有人,除了保安部的安保人员以外,几乎个个都和光刻机系统扯得上关系。自然也就都明白,泛翰研究院是否已经掌握了0。5微米工艺,答案就在这一刻了。
“诸位,我们泛翰研究院究竟有没有掌握0。5微米工艺技术。大家此时此刻可以拭目以待了!这张单晶硅晶圆是我们改造之后的第一次光刻,我请你们记住1995年10月7日这个光荣的日子”
周硕几乎是虔诚的,把晶圆从光刻机转移到蚀刻机上面,并且毫不迟疑的启动了蚀刻程序。
只是此时此刻,似乎所有人都已经忘记了他们的初衷。只是全神贯注的看着那薄薄的单晶硅晶圆。心中却已经有些相信泛翰研究院已经实现了0。5微米工艺。
问题很简单,若非是有十足把握,周硕又怎么有这个勇气,在众人面前完成蚀刻程序?甚至有的人心里已经打起了小算盘,按照国内的传统,说不定是已经有了成功经验之后,才玩的这个出炉把戏吧。
不管如何,周硕胸有成竹的模样,都让他们的态度在不自觉间发生了变化。
和光刻程序比起来,蚀刻的速度就快多了。几分钟之后,酸液已经把没有光刻胶覆盖的地方,腐蚀出了只有零点零几微米的微痕。微小到不论是人的肉眼、或者是普通的放大镜都无法发觉的地步。
当然,以蜂巢实验室里面的设备,有大把大把的方法可以对其进行观察和测量。
至少在1995年的集成电路制造水平,0。5微米的线宽,一部光学显微镜就已经足够、足够。
赵院长看了自己得意弟子麻友公一眼,微微叹了口气。他站出来,自报奋勇道:“周先生,我来对这张晶圆进行测量,没有问题吧?”
周硕呵呵笑着,将晶圆郑重的交到赵院长手里,点头说道:“能够有赵院长亲手测量,这是泛翰研究院的荣幸。我想在场的诸位,没有第二个人比赵院长更有公信力了。”
赵院长小心的将晶圆接了过来,摇头道:“谁知道你是不是事先放了从其他地方得到的晶圆进去?要按照我的说法,你至少应该在我们所有人的面前,再放一张晶圆进去。”
他顿了一顿,嗤之以鼻道:“前些年社会上还流行过水变油的闹剧,搞起这种夸张的科学技术来,向来是魔术师比科学家有本事。”
周硕似笑非笑的看着赵院长,摇头说道:“这张晶圆是不是我们泛翰研究院生产的,赵院长一看便知。”
赵院长不置可否,他呛上这两句语气说是质疑,不如说是在表明立场。毕竟这个技术是有麻友公参与的,对自己亲手培养出来的弟子他还是有信心的。麻友公的学术道德如何,他心里清楚。即使生活再怎么艰难,但学术造假肯定不会落到他的头上。
赵院长四下找了一圈,很容易就发现了一台光学显微镜。这是一台高倍的显微镜,最大观测分辨率可以达到0。1微米水平。用来观测0。5微米线宽的集成电路,可以说是轻而易举。
他熟练的操作着实验仪器,很快就做好了准备工作。赵院长向显微镜里看过去,却不想竟然惊讶的喊了出来!
“啊!”赵院长竟然从实验台前倒退了半步,那样子就如同见到了鬼一般。
赵院长很快就意识到了自己的失态,却来得及没有对众人做出丝毫说明,便又急匆匆的一头扑向了显微镜。
足足过了十多分钟,他才从显微镜前抬起头来,喃喃自语道:“竟然是真的,竟然是真的”
“赵老,什么真的、假的?你看到了什么?”赵院长身边,一个焦急的领导抓着他的衣服就问道。
“确实是0。5微米线宽!”赵院长有些苦涩,却又有些自豪的说道。
是的,他虽然输了打赌,但仍然足以自豪。因为这是中国人创造的奇迹,是他的得意弟子参与创造的奇迹。作为一个把一生已经奉献给共和国科学事业的老科学家,他虽输犹荣。
“那也不能说明什么吧,说不定是他们搞了鬼呢。赵老,一个月时间把光刻机技术提高一代,这种放卫星的说法你也信?肯定是有什么障眼法,您可得擦亮眼睛啊!”
“去!自己去看!”赵院长挺直了腰板,指向显微镜说道:“中国人,我们中国人一向是善于创造奇迹的民族啊!”
身边这人带着明显怀疑的神色,站在显微镜前看了一眼,顿时也“啊”的一声,倒退了一大步!
“怎么回事?怎么回事?”
众人心头一阵疑惑,赵院长一个人震惊也就算了,后面这人在有了心理准备的情况下,怎么还表现的这么不堪?
“真的!是真的!”这人看完之后,竟然也有些失魂落魄似的,念念有词。
“咋回事究竟?我也看看!”
“啊!”
“哎,快让我看看!”
“哎呀!真的!”
后面几乎每一个人,在看到显微镜下图案的时候,都不由自主的一付惊讶的表情。
周硕呵呵笑着制止了后面人的鼓噪,通过设备将显微镜观测到的图案,直接显示在了实验室的投影幕布上面。
只见这张晶圆上面蚀刻的图案,竟然就是今天一早赵院长从面包车上跳下来的画面!还有什么,比这个画面更有说服力的吗!
第二百七十六章 技术鉴定()
“好了,不要送了!”赵院长虽然输掉了打赌,此刻却偏偏红光满面。
他伸手止住了还想要再送一程的麻友公,欣慰的说道:“看到你能继续你的科研道路,我就放心了。不论是光电所、还是泛翰研究院,只要你没有扔下这一身的本事,我想不论到哪里,你都会有一块立足之地。”
“院长!”麻友公的眼眶有些湿润,这个四十多岁的男人,这一刻却有些抑制不住自己的眼泪了。
“对不起,我辜负了您的培养。”麻友公轻轻的擦了擦眼角,却发现湿痕竟然越擦越多。
“不要这么说,只要你还在为中国的科研事业奋斗,就没有辜负我培养你的一片苦心。”赵院长拍了拍他的肩膀,笑着说道:“不管是私企的研究机构、还是国家研究院所,只要是真正实实在在的做研究,哪里都是男子汉实现抱负的舞台啊!”
赵院长正色道:“四十多岁的人了,不要这么婆婆妈妈!真要觉得对不起我,等国家情况好转了,记得回来光电所看看就是了!”
“是!”麻友公打了一个立正,挺直了腰板喊道。
在他们两人身边,还有好多类似的告别在发生。科学界是最现实的,能不能出成果是这里唯一的衡量标准。出身再高贵,不能出成果的国家重点实验室一样要被人瞧不起。出成果、出大成果的地方哪怕只是个中学实验室,也要被人封为圣地。过上几十上百年,还要有人不远万里来怀念。
泛翰研究院不论它是何出身,只凭借能在一个月时间里就完成0。5微米工艺光刻机的技术改进,它的牌子就已经是响当当的了。
这样的研究院,任何人都要拿出一份尊重来。
周硕满面笑容的走过来,他这一步迈出去,从此就要奠定在半导体行业里的权威地位了。若非他走的是资本家路线,如果在体制内达成这样的成就。十年后说不定科学院院长的位置都可以竞争一下。
赵院长看到周硕走过来,哈哈大笑道:“人说朝闻道夕死可矣,我看到中国的科学界里有周先生这样的后起之秀,今天晚上就是立刻便死。也可以安心的走了。”
“您可别有这样的想法!”周硕诚惶诚恐道:“赵老您为国家奋斗了一辈子,总还要再享一享受我们这些年轻人缔造的清福吧?”
“哦,也对!”赵院长竟然装作认真的思考了一下,这才点头同意道:“我还要再活个三、五十年,看看你们这一代人能够创造出什么样的世界来!”
周硕猛点头,得意的说道:“说不定您还能看到,中国成为美国大债主的时候呢。美国人把士兵派往全世界,我们就把工人派往全世界。到时候所有的国家都使用中国产品,都要看着我们的眼色才行。”
赵院长老怀畅慰道:“哈哈哈哈,如果真有那一天。我一定要努力活到才行!”
“您放心吧,不会太远的。”这句话,在场的却只有周硕一个人相信。
泛翰帝都研究所在一个月时间里,竟然完成了0。8微米工艺向0。5微米工艺光刻机技术的改进。这一颇具传奇色彩的消息,在一众科研院所领导的亲自传播下。迅速的引起了一阵狂潮。
半导体领域里的众多科学家,纷纷表示不相信。尤其是微电子中心参加0。8微米集成电路生产线开发的项目组,简直觉得这是对自己以及自己的劳动,*裸的侮辱!
尼玛不带这么埋汰人的,我们花了三年时间才开发出来的技术,你们一个月就能完成难度更高的技术升级?
呸!要是有人敢站我跟前这么说,信不信老娘吐你一脸?当然。大多数科研工作者素质是很高的,她们表达的方式可能会委婉一些,但中心思想是不会变的。对真正亲身经历过光刻机研发的人来说,只有他们才能明白这里面蕴藏着多少的心血。想要再提升一点点的性能,需要付出多少的代价。
也不怪这些人不相信,实在是九十年代的科学界。已经着实经历了不少次类似事件。比如说水变油、永动机或者助燃素之类的发明,哪个开始的时候不是全民惊诧,续而狂热发展,最后发现竟然是一